光刻机板块近日火爆异常十大证券公司的排名，波长光电、凯美特气等多股涨停，国产替代的号角正在A股市场吹响，一场资本与技术共舞的大戏已然开场。
光刻机，这颗“半导体工业皇冠上的明珠”，正照亮中国科技的自主创新之路。近日A股市场上，光刻机概念股集体起舞，波长光电“20CM”涨停，、永新光学紧随其后涨停，腾景科技、新莱应材、茂莱光学等纷纷跟涨。
这波行情背后，是宣布全面适配国产芯片构建自主AI算力生态，以及外媒报道中芯国际测试中国首款国产DUV浸没式光刻机的双重利好。
01 为何关注？光刻机的战略地位
光刻机被誉为“半导体工业的珠穆朗玛峰”，其重要性不言而喻。一台高端EUV光刻机包含超过10万个精密零件，需要集结全球顶级技术。
其精度要求极为苛刻——相当于“用飞机喷气口在米粒上刻出整部《红楼梦》”。这种技术密集度，使得光刻机成为全球科技竞争的焦点。
目前全球光刻机市场呈现“三分天下”格局，ASML、尼康、市场占有率超过90%，形成典型的寡头垄断市场。其中ASML更是垄断了最高端的EUV光刻机市场。
02 国产突破，从“跟跑”到“并跑”
中国光刻机技术近年来取得了一系列突破。哈尔滨工业大学实现了13.5nm极紫外光源突破，相当于打通了EUV光刻机的“心脏”。
上海微电子的28nm浸没式光刻机已进入验证阶段，标志我国从90nm迈入中高端制程。而令人振奋的是，全球28nm及以上工艺仍占70%需求，这为国产光刻机提供了广阔的市场空间。
更值得关注的是，我国首台8纳米级电子束光刻机“羲之”正式落地，标志着国产高端芯片制造装备实现历史性突破，为下一代芯片研发提供了“备用路线”。
03 产业链机会，百花齐放正当时
光刻机产业链涉及多个领域，包括光源系统、光学系统、双工件台等核心模块，以及光刻胶、特种气体等关键材料。
光源系统：光刻机的“引擎”
光源系统是光刻机的核心组成部分，技术壁垒极高，需要稳定产生193nm（DUV）或13.5nm（EUV）极紫外光。
在这一领域，福晶科技（002222）是全球最大的LBO、BBO非线性光学晶体生产商，产品用于光刻机激光光源系统，间接供货ASML。其CLBO晶体适用于深紫外波段(13.5nm)，可能用于EUV光源。
科益虹源具有中科院背景，是国产首台高能准分子激光器制造商。
光学系统：纳米级“超精密镜头”
光学系统是光刻机的另一核心部件，对物镜组镜面平整度要求极高（≤0.1nm），相当于北京到上海的铁轨起伏不超过1毫米。
茂莱光学（688502）是国产光刻机镜头模组核心供应商，DUV物镜系统单台价值量达5000万元。2025年一季度净利润同比激增288%，大基金三期23亿元注资加速其产能扩张。
波长光电（301421）是国内唯一具备光刻机配套大孔径光学镜头量产能力的企业，产品用于上海微电子DUV光刻机，技术指标接近德国蔡司。其成功开发的光刻机平行光源系统已交付多套用于接近式掩膜芯片光刻工序。
双工件台：精密运动的“心脏”
双工件台虽然只是加工台，但技术难度不容小觑，对工件台转移速度和精度要求极高。
北方华创（002371）是半导体设备平台龙头，其双工件台精度达0.1纳米，打破ASML垄断并直接供货上海微电子。2025年新增订单同比增长58%，深度受益国产替代加速。
光刻胶：芯片的“隐形模具”
光刻胶市场长期以来被日本垄断，JSR、信越化学占全球90%份额。
南大光电（300346）是国内唯一量产28nm ArF光刻胶企业，良率超90%，客户覆盖中芯国际。2025年产能扩张30%，打破高端材料国际垄断。
彤程新材KrF光刻胶国内市占率领先，ArF胶已通过验证并量产。2024年半导体光刻胶营收同比增长50.43%。
关键组件与气体
凯美特气（002549）生产的光刻气产品通过ASML子公司Cymer公司审查，并被列入合格供应商名单。产品资质获得国际认可，凸显在半导体特种气体领域的技术实力。
自主研发的真空系统及气体相关产品，是光刻机设备的关键组成部件，目前已成功供应给国内光刻机设备制造商。
04 资本布局，大基金重点投向
国家大基金三期930亿元重点投向设备材料领域，上海微电子估值或达6000亿元。地方政策也给予支持，如上海临港新片区对光刻企业给予15%所得税优惠+研发补贴。
2025年中国光刻机市场规模将突破150亿元，年增速15%。随着国家政策支持与产业资金投入的双重利好，这些企业有望迎来需求扩张与技术突破的双重机遇。
05 投资逻辑，如何捕捉机会
光刻机概念投资可关注几个核心逻辑：技术壁垒方面，优先选择光学系统（茂莱光学）、双工件台（北方华创）等核心部件企业。
国产替代节奏方面，关注上海微电子28nm光刻机量产进度，相关配套企业弹性最大。短期催化方面，大基金三期重点投向设备环节，设备采购需求或超预期。
投资者可重点关注国产设备订单落地及光刻胶客户验证进展，把握国产替代红利。但同时需注意，EUV光刻机研发周期长达10年，需警惕量产进度不及预期及国际制裁风险。
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